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產品名稱:HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B

產品型號:

更新時間:2026-04-09

產品特點:HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B指的是HA483、HA493F、HA493P、HA493B等系列光柵尺傳感器,483:SSI協議;493F:FANUC協議;493P:PANASONIC協議;493B: BISS-C協議………;測量長度范圍70-720mm,每隔50mm一個規格;分辨率5nm/10nm/100nm;精度有±3μm、±5μm;玻璃光柵,柵距20μm。

HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B的詳細資料:

HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B傳感器技術參數:

HA400哈維HAVLICEK光柵尺?是一款高精度Absolute位移傳感器,用于機床、半導體制造等測量場景。

基本參數

  • ?測量基準?:玻璃光柵,柵距 ?20 μm?

  • ?測量范圍?:?70 mm 至 1240 mm?(≥620 mm 需加固定件)

  • ?精度等級?:?±3 μm/m? 或 ?±5 μm/m?

  • ?分辨率?:?5 nm、10 nm、100 nm? 可選

  • ?信號類型?:?Absolute協議?(支持多種通信協議)

  • ?供電電壓?:?5 V ±5%?

  • ?所需運動力?:?≤5 N?

  • 速度?:?3 m/s?

  • ?防護等級?:?IP53?,?IP64(帶外部壓縮空氣)?

  • ?讀數頭結構?:嵌入式電纜插頭

環境適應性

  • ?工作溫度?:?0℃ 至 50℃?

  • ?存儲溫度?:?-20℃ 至 70℃?

  • ?相對濕度?:?20% – 80%?(無冷凝)

機械耐受性

  • ?震動?:?100 m/s2?(55–2000 Hz)

  • ?沖擊?:?300 m/s2?(11 ms)

  • 加速度?:?100 m/s2?(沿測量方向)

協議與訂貨示例

HA400 支持多種工業通信協議,訂貨型號格式為:
?HA4X1-X2-X3-X4?,其中:

  • ?X1?:協議類型(如 493F = FANUC 協議)

  • ?X2?:測量長度(單位 mm)

  • ?X3?:分辨率(如 10 表示 10 nm)

  • ?X4?:精度(如 5 表示 ±5 μm/m)

?示例?:HA493F-620-10-5 表示 FANUC 協議、620 mm 長度、10 nm 分辨率、±5 μm/m 精度。



產品特性:

1.狹小空間環境安裝、不占用過多空間;

2.兩點穩固安裝形式、大幅提升抗震性;

3.高速,高精度應用、性能大幅提升;


尺寸規格:

HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B

技術參數


測量基準

玻璃光柵,柵距20μm

測量范圍

70mm-----720mm

精度

±3μm、±5μm

信號類型

Absolute協議

分辨率

5nm/10nm/100nm

供電電壓

5V±5%

所需運動力

≤5N

運行速度

180m/min

防護等級

IP53,IP64(有外部壓縮空氣)

震動

100m/s2

HA400測量長度規格 單位mm


70//120//220//270/320//420//

470//520//570//620//670//720//

訂貨說明


HA-X1--X2--X3---X4

H

A

X1

X2

X3

X4

標準型尺

Absolute光柵

通訊協議

測量

長度

分辨率

精度

安裝抗震可達100m/s2


483:SSI協議

493F:FANUC協議

493P:PANASONIC協議

493B: BISS-C協議

………

070----70mm

----

720----720mm

5--5µm

10--10µm

100--100µm

3--±3µm

5--±5µm

示例:HA493F--620--10--5



HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B實物如圖及安裝案例:

HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B


哈維光柵尺安裝方法

HA400哈維光柵尺的安裝方法需嚴格遵循光柵尺安裝規范,并結合其作為?Absolute光柵尺?的特性。結合HA400產品特性,安裝方法如下:


?一、安裝原則?

  • ?三軸平行?:讀數頭滑動方向必須與光柵尺尺身?縱向嚴格平行?,同時安裝面保持?水平與垂直平行?。

  • ?間隙控制?:讀數頭與尺身表面需保持?均勻間隙?,為 ?0.8–1.5 mm?(建議目標值 ?1.0 ± 0.05 mm?)?。

  • ?靠近運動部件?:依據?阿貝原理?,應盡量將光柵尺安裝在?靠近機床運動部件?的位置,以減少因角度偏差引起的余弦誤差?。


?二、安裝步驟?

  1. ?安裝前準備?

    • 清潔環境:用?無酒精?擦拭尺身安裝面及機床導軌,確保無油污、灰塵。

    • 防護措施:安裝前保留光柵尺保護膜,避免讀數頭鏡面觸碰。

    • 工具準備:?扭力扳手?(按說明書扭矩)、?塞尺?、?百分表?、?水平儀??。

  2. ?安裝尺身?

    • 預固定尺身底座(暫不鎖緊),確保尺身與機床導軌走向?平行?,誤差值≤ ?0.1 mm/m?。

    • 用百分表沿導軌檢測尺身側面跳動,調整底座使跳動值 ≤ ?0.05 mm?。

    • 按?對角線順序分次擰緊?螺釘(避免應力變形),扭矩參考說明書(通常 ?3–5 N·m?)?。

  3. ?安裝讀數頭?

    • 將讀數頭支架固定在移動部件上,預留間隙約 ?1 mm?(可用塑料墊片輔助)。

    • 用塞尺測量讀數頭四角與尺身間隙,確保全行程差值 ≤ ?0.1 mm?。

    • 用百分表檢測讀數頭側面與尺身的?動態平行度?,移動中跳動值≤ ?0.05 mm??。

  4. ?行程匹配檢查?

    • 光柵尺有效量程應比設備實際行程?至少大 50–100 mm?,防止讀數頭碰撞端部?。

    • 安裝前可連接數顯表,進行?重復定位測試?:將讀頭從一端移至另一端再返回,數顯值應歸零?。

  5. ?限位與防護?

    • 安裝完成后,必須在導軌兩端加裝?機械限位裝置?,防止碰撞?。

    • 在切屑、切削液較多的環境中,建議加裝?防護罩?,并采用橡膠密封防油防水?。


?三、調整與驗證?

  • ?靜態間隙調整?:用塞尺在讀數頭四角測量,確保間隙均勻。

  • ?動態平行度驗證?:手動移動滑臺,觀察百分表在尺身全長的跳動;若超差,?微量調節支架螺釘?,每次調整后重新測試?。

  • ?信號驗證?:連接數顯表或示波器,檢查輸出信號(A/B相正交信號)是否正常,波形應穩定無毛刺?。


?四、HA400安裝注意事項?

  • HA400 為?Absolute光柵尺?,支持斷電后位置保持,無需回零(但安裝精度要求更高)?。

  • 單信號周期誤差值 ≤ ?±0.5%?,對安裝平行度和間隙敏感,務必嚴格控制?。

  • 有效量程范圍:?70–1240 mm?,選型時需確認行程匹配?。

HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B

HAVLICEK哈維光柵尺|HA483/HA493F/P/B

可替換海德漢光柵尺、發格光柵尺及其它數控光柵尺。



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